扩散化处清洗台
1．本设备是扩散化清洗台，适用于8英寸半导体硅片清洗工艺。本设备由专家亲自指导设计、加工、组装和调试。采用国际标准生产加工，在超净厂房组装测试，有可靠的质量保障
2．整机由机架，电器，槽体，加热，管路，控制，照明等系统组成。
3．共8个槽 ，3个加热石英药液槽，，2个喷淋+QDR槽，1个阶梯槽（石英），2个下水槽（PP）；
4．进口德国PP板材，耐腐蚀且美观。
5．PLC控制，触摸屏操作，声光提示，错误报警。
6．四氟N2GUN，水枪各1把。
7．有活动脚轮，便于移动。
8．照明系统为20W封闭日光灯。
