| 型号 | SP-3020 | SP4030 | SP4030H | SP-6050 |
| 重复性 | 2um | |||
| 机台承重量 | 30kg | |||
| 操作方法 | 全自动 | |||
| 机身重量 | 280kg | 410kg | 1700kg | |
| 测量分解率 | 0.001MM | |||
| X/Y/Z轴测量精度 | (3+L/200)um | (3+L/100)um | (4+L/150)um | |
| 传动系统 | 全闭环CNC控制 | |||
| 光源系统 | USB控制四路上光源,直轴可调下光源 | |||
| 外型尺寸 | 120×72×160cm | 70×90×150cm | 100×135×185cm | |
| (X/Y/Z)测量行程 | 300×200×200mm | 400×300×250mm | 600×500×300mm | |
| 传动系统 | 步进马达 | 日本panasonic 松下司服马达及放大器 | ||
| 精密测头(选配) | 英国Renishaw高精度接触式精密测头 | |||
| 镜头 | 超低变形,多段倍率远心光设计镜头(Telecetric Lens) (0.5×,1.5×,2.0×附加镜片) | |||
| 放大倍率 | 光学放大倍率0.7-4.5X,影象放大倍率20X-125X(配附加镜片可达到10X-250X) | |||
| 影象系统 | Easson高解析度CCD影像头(1/2"SONY CCD Sensor)及支专用DSP | |||
