一、 设备概况 A. 晶洲（kzone）清洗设备-SI刻蚀清洗台设备名称：Si刻蚀清洗台 B. 晶洲（kzone）清洗设备-SI刻蚀清洗台设备型号：KZIC-T-GETW-03B C. 晶洲（kzone）清洗设备-SI刻蚀清洗台整机尺寸：约1800mm（L）×1200mm(W)×1800mm(H)； D. 操作台面高度：850±20mm E. 被清洗工件规格：6英寸圆片,25片/篮（180mm*145mm*180mm）； F. 产能：1篮，25片/批； G. 节拍 ：0～99min 可调 ； H. 设备类型:半自动； 二、 设备构造 A. 晶洲（kzone）清洗设备-SI刻蚀清洗台骨架：国产优质Q235A骨架外包3mm厚PP-W板保护； B. 晶洲（kzone）清洗设备-SI刻蚀清洗台外壳：10mm厚德国劳士领PP-W板焊接而成； C. 磁力搅拌器：国产优质带加热磁力搅拌器，满足6-8寸烧杯使用； D. 冲洗槽：德国进口10mm PP-N板热熔焊接而成； E. 管路：管路位于机台下/后部，管道采用PPHP和PPN、PFA管路相互配合使用； F. 排风：根据流体学原理设计位于机台后上部，并配有导流和风量自动调节装置--设备抽风口配置比例调节阀门，配合上下推拉门使用，门开口越大抽风发口打开越大，反之亦然； G. 工作照明：机台顶部配防腐防爆照明； H. 设备后板抽风口上方焊接一条载物台，用于盛放烧杯，手套等物品； I. DI/N2 GUN：设备配美国应特格PFA可伸缩的N2 Gun和DIW Gun各2把，置于工作设备做侧； J. 电器部分:采用开关按钮控制，电器元器件均采用Schneider&Omron； 联系电话：0512-52992666-8009/8010 传真：0512-52210111 邮箱：sales@kzonetech.com 联系人：张翠平 手机：18852441913