电子级亚磷酸三甲酯(TMPI)

一、分子式: P(OCH3)3  

二、分子量: 124.08

三、理化性质

无色液体，有刺激性臭味，熔点-78℃，沸点111～112℃，密度1.05g/ml。易燃，不溶于水。遇水缓慢分解为磷酸和甲醇。

四、用途

主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）的磷源。是半导体、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。

供应半导体化学气相沉积材料，专业研发及制造各种先进CVD/ALD (Chemical Vapr Deposition /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料，TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEBPrecursor，TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-KMaterial，TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。