电子级六甲基二硅氮烷HMDS

别名：六甲基二硅氮烷;六甲基二硅烷胺;六甲基二硅亚胺六甲基二硅氮烷

无色透明液体。易水解，放出NH3，生成六甲基二硅醚。在催化剂存在下，与醇或酚反应，生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。与无水氯化氢反应，放出NH3或NH4Cl，生成三甲基氯硅烷。可由三甲基氯硅烷与NH3反应来制取。

中文名：六甲基二硅氮烷

英文名：Hexamethyldisilazane

分子式：C6H19NSi2

分子量：161.39

CAS号：999-97-3

EINECS号：213-668-5

用途：

主要用于晶圆制造过程中光致刻蚀剂的粘结助剂。