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主要技术参数: ◆工艺管数量:1-4管 ◆工艺管口径:Φ90-360mm(3~12英寸) ◆工作温度范围:400~1280℃ ◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm ◆工艺均匀性:≤±5%(30~60欧姆)
◆结构型式:卧式热壁型 ◆气体流量设定精度:±1%F.S ◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s ◆超净工作台:净化等级:100级(万级厂房)噪音:≤62dB(A)震动:≤3μm ◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制 ◆控制方式: 工业微机控制
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